天津中环 RTP-滑动式快速退火炉
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摘要
采用红外灯管加热,通过滑动炉体实现快速升降温。应用在半导体、纳米技术、碳纤维、石墨烯生长等新型材料工艺领域。
产品介绍
产品描述
产品应用:
该系列电炉采用红外灯管加热,通过滑动炉体实现快速升降温。应用在半导体、纳米技术、碳纤维、石墨烯生长等新型材料工艺领域。
也同样适用于要求升降温速度比较快的气氛烧结、真空淬火退火及CVD等工艺实验。
产品特点:
气路快速连接法兰结构采用本公司独有的知识产权专利设计,提高操作便捷性;炉体自带超温保护及漏电保护功能;
合理的气路支架装置,避免了气路总成因自身应力而造成的炉管损坏;炉体移动自动化且有滑动限位功能,避免炉体碰撞;风冷设计,使样品实现快速降温。
产品名称
RTP系列-滑动式快速退火炉
产品型号
RTP-G06123K-H
额定功率
9KW
额定电压
220AC 50/60Hz
温度
1000℃
连续工作
950℃(<1 小时)
加热区长度
250mm
恒温区长度
200mm
加热元件
红外灯管
温度控制
国产程序控温系统可编程50段程序控温;
控制精度
±1℃
石英管尺寸
Φ60/Φ80/Φ100mm
炉管材质
石英管
滑动距离
300mm
降温速度
900~200℃的降温速度:15min
升温速度
50ºC/S
滑动控制
由温度控制器自动控制炉体移动. 当程序完成,炉体按设定的速度滑动。
流量计
浮子流量计60-600ml/min
滑轨尺寸
360 x1300x265mm
外形尺寸
360x385x595mm
重量
85Kg
标准配置
气路总成一套(含真空压力表)石英管一支、石英堵三个、钩子一把、高温手套一副。