天津中环 RTP-小型快速退火炉
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天津中环 RTP-滑动式快速退火炉
摘要
采用红外灯管加热，通过滑动炉体实现快速降温。应用于半导体或太阳能电池基片退火。也可用于快速热退火、快速热氧化、快速热氮化、硅化物合金退火、电极合金化、氧化物生长、离子注入后退火、薄膜沉积等工艺试验
产品介绍
产品描述
产品应用：
该电炉采用红外灯管加热，通过滑动炉体实现快速降温。应用于半导体或太阳能电池基片退火。也可用于快速热退火、快速热氧化、快速热氮化、硅化物合金退火、电极合金化、氧化物生长、离子注入后退火、薄膜沉积等工艺试验
产品特点：
可在真空/气氛/空气等不同环境下通过快速移动炉体，加之强风冷设计，可对样品进行快速升降温处理；管内测温设计，温控精度高,升温速率50℃/s;紧凑的台式设计，快速连接法兰，减少了炉管因安装造成损坏的可能，方便操作。
产品名称
RTP-小型快速退火炉
产品型号
RTP-G11103-K
额定功率
9KW
额定电压
220AC 50/60Hz
温度可达
1000°C
连续工作
950°C(<1 小时)
加热区长度
300mm
恒温区长度
100mm
加热元件
红外灯管
温度控制
国产程序控温系统可编程50段程序控温；
控制精度
±1℃
石英管尺寸
Φ110*380MM
炉管材质
石英管
滑动距离
355mm
滑动方式
手动滑动
建议升温速度
室温900℃：30℃/sec
900℃~1000℃： 10℃/sec外形尺寸
950 X 350 X 530 mm
重量
45Kg
标准配置
气路总成一套（含真空压力表）石英管一支、高温手套一副。76MM的样品石英架一个。
产品展示
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