天津中环 RTP-小型快速退火炉

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摘要

采用红外灯管加热,通过滑动炉体实现快速降温。应用于半导体或太阳能电池基片退火。也可用于快速热退火、快速热氧化、快速热氮化、硅化物合金退火、电极合金化、氧化物生长、离子注入后退火、薄膜沉积等工艺试验

产品介绍

产品描述


产品应用:


该电炉采用红外灯管加热,通过滑动炉体实现快速降温。应用于半导体或太阳能电池基片退火。也可用于快速热退火、快速热氧化、快速热氮化、硅化物合金退火、电极合金化、氧化物生长、离子注入后退火、薄膜沉积等工艺试验


产品特点:


可在真空/气氛/空气等不同环境下通过快速移动炉体,加之强风冷设计,可对样品进行快速升降温处理;管内测温设计,温控精度高,升温速率50℃/s;紧凑的台式设计,快速连接法兰,减少了炉管因安装造成损坏的可能,方便操作。


产品名称

RTP-小型快速退火炉

产品型号

RTP-G11103-K

额定功率

9KW

额定电压

220AC 50/60Hz

最高温度

1000°C 

连续工作

950°C(<1 小时)

加热区长度

300mm

恒温区长度

100mm

加热元件

红外灯管

温度控制

国产程序控温系统可编程50段程序控温;

控制精度

±1℃

石英管尺寸

Φ110*380MM

炉管材质

石英管

滑动距离

355mm

滑动方式

手动滑动

建议升温速度

室温900℃:30℃/sec
900℃~1000℃: 10℃/sec

外形尺寸

950 X 350 X 530 mm 

重量

45Kg

标准配置

气路总成一套(含真空压力表)石英管一支、高温手套一副。76MM的样品石英架一个。


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